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聚酰亞胺(Polyimide,PI)烘烤固化關(guān)鍵技術(shù)點

更新時間:2023-05-18      瀏覽次數(shù):4782

聚酰亞胺(Polyimide,PI)烘烤固化關(guān)鍵技術(shù)點

摘要




    PI具有最高的阻燃等級(UL-94),良好的電氣絕緣性能、機械性能、化學穩(wěn)定性、耐老化性能、耐輻照性能、低介電損耗,且這些性能在很寬的溫度范圍(-269℃-400℃)內(nèi)不會發(fā)生顯著變化,是非常優(yōu)質(zhì)高分子材料。








介紹


聚酰亞胺薄膜是目前世界上性能好的薄膜類絕緣材料,在微電子領(lǐng)域應用包括:
● 再分配層的應力緩沖涂層
● 促進成型化合物的粘附性
● 應力緩沖涂層
● 在已完成的 IC 上面的保護性鈍化層
● 集成電路中金屬層之間的低 K 分離器
● 芯片粘接
● 層間電介質(zhì)
 聚酰亞胺通常以液態(tài)形式應用,然后熱固化成薄膜或?qū)?,以實現(xiàn)所需的特性。精確的溫度均勻性是至關(guān)重要的,以避免聚酰亞胺層出現(xiàn)裂縫和顏色變化。顏色的均勻性對裝配中使用的圖案識別系統(tǒng)很重要,在這個過程中的低氧值有助于獲得明亮的材料和良好的附著力。

三種類型的聚酰亞胺:
● 非感光性聚酰亞胺
● 光敏性,離子型聚酰亞胺
● 光敏性,酯類聚酰亞胺

非感光性聚酰亞胺
非感光性聚酰亞胺的成本較低,且易于處理。在熱固化過程中產(chǎn)生的副產(chǎn)品是液體,所以它們通常不會在加工室壁上形成沉積物。為了將聚酰亞胺前體轉(zhuǎn)化為穩(wěn)定的聚酰亞胺薄膜,需要在高溫(約 250℃至 450℃)下延長烘烤時間,以實現(xiàn)的亞胺化;它還可以驅(qū)除 N-甲基吡咯烷酮(NMP)鑄造溶劑,并使聚合物鏈定向以獲得最佳的電氣和機械性能。

光敏聚酰亞胺
與標準的非光敏聚酰亞胺相比,光敏聚酰亞胺具有簡化加工的優(yōu)勢,因為它不需要光刻膠。這就減少了加工步驟的數(shù)量。對于某些類型的光敏前體,光敏成分可能難以從聚酰亞胺薄膜中演變出來。殘留的光敏聚酰亞胺前體可能會引起比標準聚酰亞胺薄膜中的更大的內(nèi)部薄膜誘導應力。酯鍵類型比離子類型更穩(wěn)定,并且有最長的保質(zhì)期。酯類聚酰亞胺對未暴露區(qū)域的溶解性也更好。適當?shù)墓袒繕诉^程是:
● 完成亞胺化過程。
● 優(yōu)化薄膜粘附性能。
● 清除所有殘留的溶劑和無關(guān)的氣體,以及移除感光元件。

當溶劑和光敏成分均勻有效地從薄膜中揮發(fā)出來時,酰亞胺化過程得到更好的控制。如果胺化速度控制不當,在整個晶圓上會出現(xiàn)局部的機械應力變化,這可能會影響薄膜對基材的附著力。此外,環(huán)境中的氧氣會使聚酰亞胺薄膜變暗。當在后續(xù)加工過程中使用多個聚酰胺層時,這種薄膜的透明度是至關(guān)重要的。對于多層加工,加工順序的對準標記可能會被低透明度的聚酰亞胺薄膜層所遮蓋。







結(jié)果與討論

推薦烘箱:
1、高溫無氧烘箱,最高溫度可達到450℃,含氧量控制在100PPM以內(nèi),滿足聚酰亞胺高溫無氧烘烤的要求。

圖片

450度光刻膠固化烤箱


2、真空高溫烘箱
利用真空烘箱有利于,在負壓環(huán)境下使溶劑有效地蒸發(fā),從而降低烘烤時間,同時也滿足無氧的苛刻條件。

圖片

芯片半導體專用真空烤箱


圖片


上海簡戶儀器設(shè)備有限公司是一家高科技合資企業(yè),生產(chǎn)銷售鹽霧箱、恒溫恒濕機、冷熱沖擊機、振動試驗機、機械沖擊機、跌落試驗機的環(huán)境試驗儀器的公司,研發(fā)生產(chǎn)銷售經(jīng)營各類可靠性環(huán)境試驗設(shè)備。經(jīng)驗豐富,并得到許多國內(nèi)外廠商的信賴與支持。

自公司成立以來,多次服務(wù)于國內(nèi)外大學和研究所等檢測機構(gòu),如清華大學、蘇州大學、哈爾濱工業(yè)大學、北京工業(yè)大學、法國申美檢測、中科院物理所、中科院,SGS等**單位提供實施室方案和設(shè)備及其相關(guān)服務(wù)。努力開發(fā)半導體、光電、光通訊、航天太空、生物科技、食品、化工、制藥等行業(yè)產(chǎn)品所需的測試設(shè)備裝置。公司擁有一支的研發(fā)、生產(chǎn)和售後隊伍,從產(chǎn)品的研發(fā)到售后服務(wù),每一個環(huán)節(jié)都以客戶的觀點與需求作為思考的出發(fā)點。


  • 為適應市場快速變化及客戶多樣化的要求,上海簡戶儀器設(shè)備有限公司研發(fā)了性能與可靠性**JianHuTest產(chǎn)品系列.從精密零件到電腦資訊系統(tǒng)及有線無線通訊產(chǎn)業(yè),均可提供高品質(zhì)的設(shè)備與完善的售后服務(wù)。



  •  上海簡戶榮獲企業(yè),表明上海簡戶在技術(shù)、科技成果轉(zhuǎn)化、擁有自主知識產(chǎn)權(quán)等方面得到了國家的高度認可。簡戶一直秉承"服務(wù)以人為本"的宗旨,為廣大客戶提供精良的設(shè)備及優(yōu)質(zhì)的服務(wù),提供的送貨上門、安裝調(diào)試、一年的設(shè)備保養(yǎng)、終身維修,技術(shù)指導服務(wù)。始終如一的以"努力、合作、飛躍"的精神自我完善、不斷發(fā)展、讓客戶與公司實現(xiàn)雙贏局面。

  • 簡戶是集設(shè)計、銷售、研發(fā)、維修服務(wù)等為一體的綜合集團公司,從產(chǎn)品的研發(fā)到售后服務(wù),每一個環(huán)節(jié)之間,都以客戶的觀點與需求作為思考的出發(fā)點,提供的環(huán)境設(shè)備。公司創(chuàng)始人從事儀器設(shè)備行業(yè)20余年,經(jīng)驗豐富、資歷雄厚,帶領(lǐng)簡戶公司全體同仁攜手共建輝煌明天。公司成立以來,積極投入電子電工,航空,航天,生物科技,各大院校,及科研單位等行業(yè)所需的產(chǎn)品測試設(shè)備裝置。


  • 簡戶擁有一支的研發(fā)、生產(chǎn)和售后服務(wù)隊伍,從產(chǎn)品的研發(fā)到售后服務(wù),每一個環(huán)節(jié)都以客戶的觀點與需求作為思考的出發(fā)點,目前擁有博士學位2人,碩士5人,參與環(huán)境試驗箱國家標準起草和發(fā)行。企業(yè)制定標準,行業(yè)里通過ISO9001。是中國儀器儀表學會會員和理事單位。曾榮獲CCTV《中國儀器儀表20強品牌》殊榮,2010年入駐上海世博會民企館。簡戶自創(chuàng)辦以來,參與3項國家標準起草與制定,獲得40+件原創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)、軟著、集成電路),6次獲得上海科技型中小企業(yè)稱號,合作過3200+家合作客戶(其中世界500強高校600家)。


  • 簡戶儀器今后必將牢記為客戶提供優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品和服務(wù)的宗旨,不忘為行業(yè)貢獻前沿科學和技術(shù)的初心,再接再厲,砥礪前行!

  • 【簡戶儀器簡介:成立2005年,是一家研發(fā),生產(chǎn),銷售及售后齊全的綜合性設(shè)備生產(chǎn)單位,多次評為科技型中小企業(yè),,客戶遍布高分子,汽車,半導體,塑膠,五金,科研院校,第三方檢測等】

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